MEMS是micro electro mechanical system微電子機械系統的縮寫，這種微電子制造技術適用于任何傳感器的制造。這些技術，通常在硅晶體上蝕刻，創造微觀尺寸的機械傳感結構。當與微電路耦合時，MEMS傳感器可以用于測量例如加速度之類的物理參數。不同于ICP®傳感器，MEMS傳感器測量頻率低至0Hz(靜態或者DC加速度)。PCB®制造兩種類型的MEMS加速度計，可變電容式和壓阻式?？勺冸娙?VC)MEMS加速度計主要是低幅值，高靈敏度設備，用于結構監測和恒定加速度的測量。壓阻(PR)MEMS加速度計主要是高量程，低靈敏度設備，用于沖擊和爆炸應用。
PCB®的VC MEMS加速度計有型號3711E，3713E和3741E系列。PCB®的壓阻MEMS加速度計有型號3501,3503,3641,3651以及3991。
